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來(lái)了解MKS真空計(jì)925系列性能參數(shù)

點(diǎn)擊次數(shù):2252 更新時(shí)間:2016-06-03

來(lái)了解MKS真空計(jì)925系列性能參數(shù)
MKS 925系列真空計(jì)(MlcroPirani傳感器)
925系列MlcroPirani(微皮拉尼)傳感器是一個(gè)*的、基于MEMS的傳感器,它是一種熱導(dǎo)測(cè)量計(jì)。925 MlcroPirani常用于半導(dǎo)體設(shè)備及其它分析儀器中的真空壓力測(cè)量。MlcroPirani傳感器設(shè)計(jì)十分小型緊湊。其壓力測(cè)量范圍從常壓至10-5Torr,比標(biāo)準(zhǔn)Pirani壓力計(jì)低兩個(gè)數(shù)量級(jí)。925具有數(shù)字或模擬通訊接口,925有三個(gè)設(shè)置點(diǎn)。
925系列真空計(jì)主要參數(shù):
測(cè)量范圍:1.0*10-5Torr至大氣壓
設(shè)定范圍:5.0*10-4 Torr至500Torr
精度:5*10-4 至10-3Torr ±10%讀數(shù),10-3至100Torr ±5%讀數(shù),100Torr至大氣壓 ±25%讀數(shù)
重復(fù)性:10-3至100 Torr ± 2%
電源要求:9 to 30 VDC,<1.5W

美國(guó)MKS 925系列真空計(jì)訂購(gòu)資料(訂貨號(hào)如925-11030):

型號(hào)

訂購(gòu)序號(hào)

925 MlcroPirani

925-

接口類型

 

KF16

1

KF25

2

1/8NPT

3

VCR4

4

VCR8

5

CF1.33

6

KF16擴(kuò)展

8

通訊接口

 

RS232/模擬

1

RS485/模擬

2

模擬輸出

 

MKS標(biāo)準(zhǔn)

0

MKS定制有*測(cè)范圍

8

連接頭和繼電器

 

15針D-sub母頭/1個(gè)接觸點(diǎn)/925C兼容

1

15針D-sub母頭/無(wú)接觸點(diǎn)

2

15針D-sub母頭/3個(gè)接觸點(diǎn)

3

15針D-sub母頭/3個(gè)接觸點(diǎn)/雙模擬輸出

5

密封

 

標(biāo)準(zhǔn)/Viton密封

0

標(biāo)準(zhǔn)/UHV密封

1

標(biāo)準(zhǔn)/Viton密封/帶顯示

4

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