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荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器技術(shù)參數(shù)

點擊次數(shù):454 更新時間:2022-12-08

  荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細管 MEMS 技術(shù)的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器與精確且經(jīng)過驗證的旁路結(jié)構(gòu)相結(jié)合。

  荷蘭bronkhorst FF-A500型壓力控制器技術(shù)參數(shù)如下:

流量范圍(可提供中間范圍)分鐘。

最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min

(以 N 2 計)

壓力范圍PA:0...17 bar(a)

PS:不可用

BtO:FF-C10:不可用 / FF-C11:0...17 bar(a)

精度(包括線性度)(基于實際校準)PA:±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 );

PS:±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 );

BtO:高達 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 );

對于其他氣體增加轉(zhuǎn)換不確定性;查看多氣體表;

重復(fù)性流量傳感器:< ±0.2% Rd;

壓力傳感器:< ±0,2% FS

調(diào)節(jié)比PS:1:50

PA:1:500

BtO:高達 1:1000

最大限度。運營壓力16巴克

多氣體/多范圍22 種氣體以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數(shù)據(jù)

穩(wěn)定時間(受控,典型)< 150 毫秒

長期穩(wěn)定性< 0.5% 滿量程 3 年;然后 < 0,2% FS 每年

控制穩(wěn)定性< ± 0,1% FS(1 l n /min N 2 的典型值)

工作溫度0...50攝氏度

安裝任意位置,姿態(tài)敏感度可忽略不計

溫度敏感性流量傳感器:零 0,0015% FS/oC;量程 0.03% Rd/oC;

壓力傳感器:零 0.16 mbar/oC;量程 0,05% Rd/oC

溫度精度± 0,2 oC(儀器本體溫度)

精度壓力傳感器±0,5% 滿量程

壓感標準:< 0,15% Rd/bar 典型 N 2;

帶壓力校正:< 0,02% Rd 典型值 N 2

泄漏完整性,舷外經(jīng)測試 < 2 x 10 -9 mbar l/s He

通過關(guān)閉的閥門泄漏典型值 < 1 x 10 -4 mbar·l/s He

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